D07-7K 气体质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量 。D07-7产物是七星流量计基础款产物，能满足客户流量测控基本需求。
D07-7K 气体质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量 。D07-7产物是七星流量计基础款产物，能满足客户流量测控基本需求。
特点
• 橡胶密封、模拟电路的MFC
• 管状分流，使用寿命长
D07-7K 气体质量流量控制器技术参数
项目 | D07-7B 型 | D07-7BM 型 | D07-7C 型 | D07-7CM 型 | D07-7K 型 | D07-7KM 型 |
流量规格 | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | (20,30,50,100,200,300,500) SCCM | (20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
准确度 | ±1.5 % F.S | ±1.5 % F.S | ±1.5 % F.S | ±1.5 % F.S | ±1 % F.S | ±1% F.S |
线性 | ±1 % F.S | ±1 % F.S | ±1 % F.S | ±1 % F.S | ±1 % F.S | ±1% F.S |
重复精度 | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S |
响应时间 | 电特性: 10sec; | 10 sec | 电特性: 10 sec; | 10 sec | 电特性: ≤4sec; | ≤4 sec |
气压降 | - | <0.01 MPa | - | <0.01 MPa | - | <0.01 MPa |
温度系数 | - | - | - | - | Zero: ≤±0.1% F.S./℃; | Zero: ≤±0.1% F.S./℃; |
工作压差范围 | (0.1 ~ 0.5) MPa | - | (0.1 ~ 0.5) MPa | - | (0.1 ~ 0.5) MPa | - |
大工作压力 | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa |
耐压 | 3 MPa | 3 MPa | 3 MPa | 3 MPa | 3 MPa | 3 MPa |
工作环境温度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
输入输出信号 | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V |
电源 | +15V 50 mA | +15 V 50 mA | +15 V 50 mA; | +15 V 50 mA | +15 V 50 mA; | +15 V 50 mA |
重量 | 1.1 kg | 0.92 kg | 1.1 kg | 0.92 kg | 1.1 kg | 0.92 kg |
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