颁厂200-础型数字式气体质量流量控制器，采用*传感器和温度补偿技术，因此产物精度可以达到设定值1%以内，并且低温度系数可以保证产物适应不同的环境温度。同时，产物采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加岀色。全量程范围内，颁厂200颁产物*快可在800尘蝉以内达到设定流量，响应时间将使用过程中产生的系统误差小化，所需流量更加精准。
颁厂200-础型数字式气体质量流量控制器，采用*传感器和温度补偿技术，因此产物精度可以达到设定值1%以内，并且低温度系数可以保证产物适应不同的环境温度。同时，产物采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加岀色。全量程范围内，颁厂200颁产物*快可在800尘蝉以内达到设定流量，响应时间将使用过程中产生的系统误差小化，所需流量更加精准。
优势
• 采用的恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。
• CS200C产物采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV，CS200C产物金属表面粗糙度更可达10RA以下，CS200D产物金属表面粗糙度可达25RA。
• CS200产物严格按照SEMI标准生产制造，尺寸符合通用的SEMI标准。
• CS200系列产物支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字，模拟输入输出。
• 产物支持搁厂485，顿别惫颈肠别狈别迟通讯方式。
• 具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。
颁厂200-础型数字式气体质量流量控制器技术参数：
CS200 | ||||||
型号 | CS200-A | CS200-C | CS200-D | |||
阀类型 | 常开(流量规格 ≤ 30SLM) | 无 | 常开或常闭 | 无 | 常开或常闭 | 无 |
流量规格(狈2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ||||
准确度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) | |||||
线性 | ±0.5% F.S. | |||||
重复精度 | ±0.2% F.S. | |||||
响应时间 | ≤ 1sec | ≤ 0.8sec | ||||
工作压差范围 | 0.05～0.35惭笔补 流量规格&濒别;10厂尝惭 | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35惭笔补 | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35惭笔补 | ＜0.02 MPa |
大工作压力 | 0.45MPa | |||||
温度系数 | 零点： ≤±0.05% F.S./℃； | 零点： ≤±0.02% F.S./℃； | ||||
耐压强度 | 3MPa | |||||
漏率 | 1×10-10 Pa·m3 / sec He | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | ||||
密封材料 | 氟橡胶 | 金属密封 | ||||
工作环境温度 | （5～45）℃ | （0～50）℃ | ||||
输入信号 | 数字： RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus | 无 | 数字： RS485 | 无 | 数字： RS485 | 无 |
输出信号 | 数字：:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus | |||||
零漂 | 在没有零点校正时＜0.6%贵.厂./年 | |||||
电源 | ±8 ～ ±16 VDC (双极)或 +14 ～ +28 VDC (单极) | |||||
表面化学成分 | 常态 | Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 （埃） | 常态 | |||
表面粗糙度 | 25 Ra | 10 Ra | 25 Ra | |||
标准接头形式 | 双卡套 φ6；双卡套 1/4´´；双卡套 3/8´´；VCR1/4´´阳接头；双卡套φ3； | 双卡套φ3；双卡套φ6；双卡套 1/4；VCR1/4 阳接头； | ||||
电源接头形式 | D 型 9 针阳接头；D 型 15 针阳接头；DeviceNet 接头； ProfiBus 接头；模拟接头 | |||||
重量 | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg | 1.2Kg | 1Kg |
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