D07-19BM 气体质量流量计密封材料:氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon
产物型号 | D07-19BM |
产物类型 | 普通型 |
流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
产物精度 | ±1%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.) |
重复精度 | ±0.2% FS |
线性 | ±0.5%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.) |
响应时间 | ≤2sec |
工作温度范围 | (5~45)°C |
耐压 | 10MPa |
密封材料 | 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
输入输出信号 | (0~5)VDC |
电源 | ±15V |
阀类型 | - 无 - |
温度系数 | - 无 - |
零点飘移指标 | - 无 - |
电气连接 | D sub 15 pins Male |
工作压差范围 | <0.02 MPa |
漏率 | 1×10-8atm•cc / sec He(1×10-9 Pa•m3 / sec He) |
标准接头形式 | 双卡套1/8&谤诲辩耻辞;(满量程>10蝉濒尘不适用),双卡套&笔丑颈;3(满量程>10蝉濒尘不适用),双卡套&笔丑颈;8,双卡套&笔丑颈;6,双卡套&笔丑颈;10,&辫丑颈;4(内)&迟颈尘别蝉;1软管接头,痴颁搁1/4&谤诲辩耻辞;,双卡套1/4&谤诲辩耻辞;,&辫丑颈;6(内)&迟颈尘别蝉;1软管接头 |
表面化学成分 | - 无 - |
表面粗糙度 | - 无 - |
抗电磁干扰 | CE |
重量 | 0.7Kg |