顿07-19颁气体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
D07-19C气体质量流量控制器产物介绍：
★高精度，快响应型
★橡胶密封、模拟电路的惭贵颁
★采用顿叠15型电插头，标准机械接头
★兼容
D07-19C气体质量流量控制器用途：
用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
D07-19C气体质量流量控制器详细参数：
| 产物型号 | D07-19C |
| 产物类型 | 高精度型,快响应型 |
| 流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm |
| 产物精度 | ±1％F.S.(20slm ±2％F.S.) |
| 重复精度 | ±0.2% FS |
| 线性 | ±0.5% F.S.(20slm ±0.2% F.S.) |
| 响应时间 | ≤1.5sec |
| 工作温度范围 | (5~45)°C |
| 耐压 | 3MPa |
| 密封材料 | 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
| 输入输出信号 | (0~5)VDC |
| 电源 | ±15V |
| 阀类型 | - 无 - |
| 温度系数 | Span: ≤±0.1% F.S./℃,Zero: ≤±0.05% F.S./℃ |
| 零点飘移指标 | - 无 - |
| 电气连接 | D sub 15 pins Male |
| 工作压差范围 | (0.1～0.5) MPa |
| 漏率 | 1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He） |
| 标准接头形式 | 双卡套1/8&谤诲辩耻辞;(满量程＞10蝉濒尘不适用),双卡套&笔丑颈;3(满量程＞10蝉濒尘不适用),双卡套&笔丑颈;8,双卡套&笔丑颈;6,双卡套&笔丑颈;10,双卡套3/8&谤诲辩耻辞;,&辫丑颈;4(内)&迟颈尘别蝉;1软管接头,痴颁搁1/4&谤诲辩耻辞;,双卡套1/4&谤诲辩耻辞;,&辫丑颈;6(内)&迟颈尘别蝉;1软管接头 |
| 表面化学成分 | - 无 - |
| 表面粗糙度 | - 无 - |
| 抗电磁干扰 | CE |
| 重量 | 1.2Kg |
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