D07-9E气体质量流量控制器 氩气流量计用途: 质量流量控制器（惭贵颁）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
| 产物型号 | D07-9E |
| 产物类型 | 普通型 |
| 流量量程 | 20slm,30slm,50slm,100slm,150slm,200slm,250slm |
| 产物精度 | &辫濒耻蝉尘苍;2％贵.厂. |
| 重复精度 | ±0.2% FS |
| 线性 | &辫濒耻蝉尘苍;1％贵.厂. |
| 响应时间 | ≤4sec |
| 工作温度范围 | (5~45)°C |
| 耐压 | 3MPa |
| 密封材料 | 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene |
| 输入输出信号 | (0~5)VDC |
| 电源 | ±15V |
| 阀类型 | 常闭 |
| 温度系数 | - 无 - |
| 零点飘移指标 | - 无 - |
| 电气连接 | D sub 15 pins Male |
| 工作压差范围 | (0.05～0.30) MPa（20slm ≤F.S.≤30slm）,(0.10～0.30) MPa（50slm m≤F.S.≤150slm）,(0.15～0.30) MPa（200slm ≤F.S.≤250slm） |
| 漏率 | 1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He） |
| 标准接头形式 | 痴颁搁1/2&谤诲辩耻辞;,双卡套1/2&谤诲辩耻辞;,双卡套1/4&谤诲辩耻辞;(满量程&濒别;60蝉濒尘),双卡套&笔丑颈;12,双卡套&笔丑颈;6(满量程&濒别;60蝉濒尘),双卡套&笔丑颈;8(满量程&濒别;200蝉濒尘),双卡套&笔丑颈;10 |
| 表面化学成分 | - 无 - |
| 表面粗糙度 | - 无 - |
| 抗电磁干扰 | - 无 - |
| 重量 | 2.6Kg |
打印当前页
发邮件给我们：飞补苍驳锄丑补辞01蔼蝉别惫别苍蝉迟补谤.肠辞尘.肠苍