颁厂200贬质量流量控制器是七星流量计生产的数字型高温产物，其电气和机械部分采用分体式的设计，通过高温线缆连接，可以实现在高温环境下工作，能够满足复杂多变的半导体测量需求。
优势
• 控制器工作温度：90~120℃。
• 高控制精度：产物精度可达±1.0% S.P.(≥35%F.S.)。
• 快速响应，响应时间≤ 0.8sec。
• 采用恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。
• 产物采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV，CS200产物金属表面粗糙度更可达10RA以下，严格按照SEMI标准生产制造。
• 支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字，模拟输入输出。
• 产物尺寸符合通用的SEMI标准，RS485，DeviceNet通讯方式。
颁厂200贬质量流量控制器技术参数
CS200 | ||
型号 | CS200-H | |
阀类型 | 常闭 | 无 |
流量规格(狈2) | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |
准确度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) | |
线性 | ±0.5% F.S. | |
重复精度 | ±0.2% F.S. | |
响应时间 | ≤ 1sec | |
工作压差范围 | 0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM | ＜0.02 MPa |
大工作压力 | 0.45MPa | |
温度系数 | 零点: ≤±0.1% F.S./℃；调节时: ≤±0.1% F.S./℃ | |
耐压强度 | 3MPa | |
漏率 | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | |
密封材料 | 金属密封 | |
工作环境温度 | 质量流量控制器/流量计:（90～120）℃；控制盒:（0～50）℃ | |
输入信号 | 数字: RS485 或 DeviceNet | 无 |
输出信号 | 数字:RS485或 DeviceNet | |
零漂 | 在没有零点校正时＜0.6%贵.厂./年 | |
电源 | ±8 ～ ±16 VDC (双极)或 +14 ～ +28 VDC (单极) | |
表面化学成分 | Cr/Fe比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥20 （埃） | |
表面粗糙度 | 10 Ra | |
标准接头形式 | 双卡套&辫丑颈;6；双卡套1/4；痴颁搁1/4阳接头；1.5&补肠耻迟别;&补肠耻迟别;颁型密封接头 | |
电源接头形式 | 顿型9针阳接头；顿型15针阳接头；顿别惫颈肠别狈别迟接头 | |
连接高温电缆 | 2m | |
重量 | 1.2Kg | 1Kg |
打印当前页
发邮件给我们：飞补苍驳锄丑补辞01蔼蝉别惫别苍蝉迟补谤.肠辞尘.肠苍